特許

J-GLOBAL ID：200903045590418390

半導体デバイス検査用プローブ及びプローブカード

発明者： 清藤 英博 ,  石渡 達也
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-084395
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272416
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【目的】 直径寸法が可能な限り小さい電気的接続具を備えたプローブとすること【解決手段】 プローブは、半導体デバイス検査用プローブは、針先部を一端部に有する同軸ケーブルと、該同軸ケーブルの他端に結合された電気的接続具とを含む。前記接続具は、ねじを利用することなく嵌合及び解除により相互の結合及びその分離をすることができるジャック及びプラグのいずれか一方を用いる。

請求項（抜粋）：

針先部を一端部に有する同軸ケーブルと、該同軸ケーブルの他端に結合された電気的接続具とを含み、前記接続具は、ねじを利用することなく嵌合及び解除により相互の結合及びその分離をすることができるジャック及びプラグのいずれか一方である、半導体デバイス検査用プローブ。

IPC (7件)：

G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01R 13/627 ,  H01R 24/02 ,  H01R103:00

FI (7件)：

G01R 1/06 A ,  G01R 1/073 D ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  H01R 13/627 ,  H01R103:00 ,  H01R 17/04 J

Fターム (21件)：

2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AG03 ,  2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AB06 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10 ,  4M106DD15 ,  5E021FA14 ,  5E021FA16 ,  5E021FB01 ,  5E021FB11 ,  5E021FC31 ,  5E021FC36 ,  5E021HC40

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プリント配線板の検査治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-199131   出願人：イビデン株式会社
• 特開平1-147382
  
• プローブカード、プローブカード用同軸プローブ針、及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-182092   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社, 株式会社潤工社
• 特開昭62-179125