感光性樹脂組成物および積層体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：鳴井義夫 , 武井英夫 , 松井佳章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-073125
公開番号（公開出願番号）：特開2009-229657
出願日： 2008年03月21日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：

【課題】ドライフィルム作成時の相溶性が良好で、i線、h線の両方のタイプの露光機で露光した場合に同等の感度を示し、かつ解像度、及び密着性に優れ、アルカリ性水溶液によって現像し得る感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含む、酸当量で100〜600、重量平均分子量が5,000〜500,000の熱可塑性共重合体:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、(c)トリアリールイミダゾリル二量体を含む光重合開始剤:0.01〜30質量%、及び(d)特定のピラゾリン化合物:0.001〜10質量%、を含有する感光性樹脂組成物であって、上記(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマーが、特定の付加重合性モノマーを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含む、酸当量で100〜600、重量平均分子量が5,000〜500,000の熱可塑性共重合体:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、(c)トリアリールイミダゾリル二量体を含む光重合開始剤:0.01〜30質量%、及び(d)下記一般式(I)で示されるピラゾリン化合物:0.001〜10質量%、を含有する感光性樹脂組成物であって、上記(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマーが、下記一般式(II)で表される群より選ばれる少なくとも一種の付加重合性モノマーを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (12件)：

G03F 7/027 , G03F 7/031 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , H05K 3/06 , H05K 3/18 , H05K 3/04 , C08F 2/44 , C08F 2/50 , C08F 20/28 , C08F 290/06

FI (13件)：

G03F7/027 502 , G03F7/031 , G03F7/004 501 , G03F7/004 512 , G03F7/40 521 , H01L21/30 502R , H05K3/06 H , H05K3/18 D , H05K3/04 D , C08F2/44 Z , C08F2/50 , C08F20/28 , C08F290/06

Fターム (130件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC43 , 2H025BC66 , 2H025CA03 , 2H025CA14 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB43 , 2H025CB55 , 2H025CC13 , 2H025CC14 , 2H025CC20 , 2H025FA10 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H025FA42 , 2H025FA43 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096EA23 , 2H096GA09 , 2H096HA11 , 2H096HA27 , 2H096HA30 , 4J011AA05 , 4J011PA43 , 4J011PA69 , 4J011PB39 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA13 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QB16 , 4J011RA03 , 4J011SA78 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J100AL08R , 4J100AL63S , 4J100AL66P , 4J100AL66Q , 4J100AL66S , 4J100BA08Q , 4J100BA08R , 4J100BA08S , 4J100BC12P , 4J100BC43R , 4J100CA06 , 4J100FA02 , 4J100JA38 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127BB031 , 4J127BB111 , 4J127BB221 , 4J127BC021 , 4J127BC151 , 4J127BC161 , 4J127BD221 , 4J127BE34Y , 4J127BE341 , 4J127BF14X , 4J127BF141 , 4J127BF17Y , 4J127BF171 , 4J127BF27X , 4J127BF271 , 4J127BG04X , 4J127BG04Y , 4J127BG041 , 4J127BG13X , 4J127BG131 , 4J127BG14X , 4J127BG14Y , 4J127BG141 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127CB153 , 4J127CB281 , 4J127CB282 , 4J127CB344 , 4J127CB374 , 4J127CC021 , 4J127CC033 , 4J127CC113 , 4J127CC132 , 4J127CC133 , 4J127CC134 , 4J127EA13 , 4J127FA17 , 4J127FA38 , 5E339AA02 , 5E339AB02 , 5E339AB07 , 5E339AD01 , 5E339BC02 , 5E339BE03 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE16 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD04 , 5E343AA02 , 5E343AA12 , 5E343BB24 , 5E343CC62 , 5E343DD32 , 5E343DD76 , 5E343EE04 , 5E343EE13 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG08

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平04-223470号公報
感光性樹脂組成物及び積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-019708 出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-141895 出願人：日立化成工業株式会社

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