特許
J-GLOBAL ID:200903045652963179
フレキシブルガスバリアフィルムおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
平山 一幸
, 篠田 哲也
, 小川 耕太
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-312748
公開番号(公開出願番号):特開2009-255040
出願日: 2008年12月08日
公開日(公表日): 2009年11月05日
要約:
【課題】フィルム上に形成されたポリマー膜の孔や凹部等の欠陥の発生を防止し、表面を平滑にすることが可能でかつ、大型真空装置を必要としない樹脂基材を用いた基板の製造方法を提供する。さらに加えて、ガスバリア性が高く、耐候性にも優れ、クラックの発生しにくいフレキシブルな基板を提供する。【解決手段】樹脂基材2上にシラザン骨格を基本ユニットとするポリマーを塗工して膜厚250nm以下のポリマー膜3を形成する第一ステップと、形成された膜3に真空紫外光を照射する第二ステップと、第一ステップ及び第二ステップを繰り返して、基材2上に膜3を重ねて積層してフレキシブルガスバリアフィルム1を製造する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
樹脂基材上に、シラザン骨格を基本ユニットとするポリマーを塗工して膜厚250nm以下のポリマー膜を形成する第一ステップと、
形成されたポリマー膜に真空紫外光を照射する第二ステップと、
上記第二ステップで形成された膜上に、上記第一ステップ及び上記第二ステップを繰り返して膜を重ねて形成する第三ステップと、
を含む、フレキシブルガスバリアフィルムの製造方法。
IPC (5件):
B05D 5/00
, B32B 9/00
, B05D 7/04
, B05D 7/24
, B05D 1/36
FI (5件):
B05D5/00 Z
, B32B9/00 A
, B05D7/04
, B05D7/24 302Y
, B05D1/36 Z
Fターム (28件):
4D075AE03
, 4D075AE17
, 4D075BB46Z
, 4D075CA42
, 4D075DA04
, 4D075DB31
, 4D075DC24
, 4D075EA21
, 4D075EB43
, 4F100AA20B
, 4F100AA20C
, 4F100AK01A
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100EH46B
, 4F100EH46C
, 4F100EJ54B
, 4F100EJ54C
, 4F100GB41
, 4F100JD03
, 4F100JD04
, 4F100JK15
, 4F100JK15A
, 4F100JK17
, 4F100YY00
, 4F100YY00A
引用特許: