ウェハメッキ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319026
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163212
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】フリップチップ接続等に用いられる金属突起電極をウェハ上に均一に形成することができるウェハメッキ装置を提供する。【解決手段】このウェハメッキ装置は、ウェハ2上に形成された電極膜とこの電極膜を電源10の負電極側に接続する電極接点12とからなるカソード電極と、前記カソード電極に対向するように設置され、前記電極接点12に対向する点の近傍では前記電極接点12からの距離が対向間隔より大きくかつ等しくなるような外形形状を有する電源10の正電極側に接続されたアノード電極とを有している。

請求項（抜粋）：

ウェハ上に形成された電極膜に接続される電極接点と、この電極接点の電源となる第1の電源とを有する第1の電極と、前記第1の電極に所定間隔をもって対向するように設置され、前記電極接点とこの電極接点に対向する近傍間の距離を前記所定間隔より少なくとも等しくさせる外形形状を有し、第2の電源に接続される第2の電極と、を具備することを特徴とするウェハメッキ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/321 , C25D 7/12 , C25D 17/12 , H01L 21/288

FI (5件)：

H01L 21/92 604 B , C25D 7/12 , C25D 17/12 K , H01L 21/288 E , H01L 21/92 604 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

カップ式めっき装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215027 出願人：日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社
配線基板用電気めつき装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-312359 出願人：株式会社東芝, 東芝サーキツトテクノロジー株式会社
めっき装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-086163 出願人：日立協和エンジニアリング株式会社

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