特許

J-GLOBAL ID：200903045679514244

Crエッチング液

発明者： 竹内 典子 ,  寺島 悦三 ,  笠井 勉
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-230812
公開番号（公開出願番号）：特開平9-078264
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【目的】 不溶性化合物の発生を抑制でき、これによりロングライフ化と製造コストの低減を図る。【構成】 硝酸第二セリウムアンモニウムあるいは硝酸第二セリウム、過塩素酸、および水からなるCrエッチング液において、硝酸第二セリウムアンモニウムあるいは硝酸第二セリウムの濃度が1wt%以上15wt%以下であり、過塩素酸の濃度が5wt%以上25wt%以下の組成を有する。

請求項（抜粋）：

硝酸第二セリウムアンモニウムあるいは硝酸第二セリウム、過塩素酸、および水からなるCrエッチング液において、硝酸第二セリウムアンモニウムあるいは硝酸第二セリウムの濃度が1wt%以上15wt%以下であり、過塩素酸の濃度が5wt%以上25wt%以下の組成を有することを特徴とするCrエッチング液。

IPC (6件)：

C23F 1/26 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/306 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (5件)：

C23F 1/26 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 21/28 E ,  H01L 21/306 F ,  H01L 29/78 612 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-085814
  
• エッチング液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-296238   出願人：富士通株式会社
• 特開平2-302491
  
• 液晶表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-140588   出願人：株式会社日立製作所