力センサー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大家邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057878
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249768
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【解決課題】人間の手・指の感圧機能に近く、多様な形状の対象物に対応して微弱な圧力変化を的確に感知する柔軟性に優れた力センサーを提供する。【解決手段】最表面にチタン成分を有する箔、薄板またはフィルム等の基材上に水熱合成によって圧電体層を形成し、その上に電極層を積層してなる圧電素子からなる感知手段を、弾性部材の形状に合わせて貼り合わせてなる力センサー。

請求項（抜粋）：

最表面にチタン成分を有する可撓性基材上に水熱合成によって圧電体層を形成し、その上に電極層を積層してなる圧電素子を感知手段として含むことを特徴とする力センサー。

IPC (2件)：

B25J 13/08 , G01L 1/16

FI (2件)：

B25J 13/08 Z , G01L 1/16

引用特許：

審査官引用 (11件)

圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-207118 出願人：岡田和廣
複合チタン酸化物膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-271267 出願人：宇部興産株式会社
特開昭60-034294

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