特許

J-GLOBAL ID：200903086354886690

複合チタン酸化物膜の製造方法

発明者： 長尾 圭吾 ,  河野 孝史 ,  橋本 和生 ,  木村 隆幸
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271267
公開番号（公開出願番号）：特開平8-133729
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】【目的】 基板上の所望の位置に複合チタン酸化物を形成することにより、各種デバイスの特性を向上させる。【構成】 水熱合成法により基板上に複合チタン酸化物膜を形成する方法において、該基板としてチタンまたはチタン酸化物を形成した基板を使用し、該基板の所望の部分にチタン以外の金属または合金をコ-ティングして水熱合成を行い、コーティング膜が形成されていない部分のみに複合チタン酸化物膜を形成する複合チタン酸化物膜の製造方法に関する。

請求項（抜粋）：

水熱合成法により基板上に複合チタン酸化物膜を形成する方法において、該基板としてチタンまたはチタン酸化物を形成した基板を使用し、該基板の所望の部分にチタン以外の金属または合金をコ-ティングして水熱合成を行い、コーティング膜が形成されていない部分のみに複合チタン酸化物膜を形成することを特徴とする複合チタン酸化物膜の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• チタン酸鉛膜の形成方法及び金属チタン基材上にチタン酸鉛膜を形成してなる複合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-247041   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平3-218926
  
• TiAl金属間化合物またはTi-Al系合金表面に複合チタン酸化物厚膜を被覆する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-215601   出願人：三菱マテリアル株式会社, 吉村昌弘
• チタン金属とチタン酸ジルコン酸鉛膜を含む複合体の製造方法及び複合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-022146   出願人：株式会社村田製作所, 新技術事業団, 吉村昌弘