特許
J-GLOBAL ID：200903045767556089
平面度測定装置及び平面度測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-339876
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147351
出願日： 2005年11月25日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：
【課題】測定対象となる測定対象部材の複数方向の平面度を簡易な構成で測定可能な平面度測定装置及び平面度測定方法を提供する。【解決手段】測定対象ベルト12上に円形状のパターンを照射し、測定対象ベルト12上に投影された投影パターンを撮像することによって投影パターンの画像データを取得し、取得した画像データの画像に含まれる投影パターンの、円形状の基準パターンに対する半径方向の歪み量に基づいて、任意の方向の平面度を求めるので、一度の測定により、測定対象ベルト12の複数の方向の平面度を簡易な構成で容易に求めることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
円形状のパターンを測定対象部材表面に投影する投影手段と、
撮像によって、前記測定対象部材上に投影された投影パターンを示す画像データを取得する撮像手段と、
前記円形状のパターンに相似する予め定められた基準パターンに対する、前記撮像手段によって取得された画像データの投影パターンの半径方向の歪み量を、円周方向に所定間隔で算出する歪量算出手段と、
前記歪量算出手段によって算出された歪み量の、互いに相反する方向の歪み量の最大値と最小値との差の絶対値に基づいて、該互いに相反する方向に対応する前記測定対象部材の方向の平面度を算出する平面度算出手段と、
を備えた平面度測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/30 101
, G03G21/00
2F065AA47
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065FF04
, 2F065HH07
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065RR08
, 2H134QA01
