電子顕微鏡装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-320705
公開番号（公開出願番号）：特開平11-154478
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】ダウンフロ-による分解能低下を防止するのに適した電子顕微鏡装置を提供すること。【解決手段】電子顕微鏡装置は清浄空気のダウンフロ-が形成されているクリ-ンル-ム内に配置される。電子顕微鏡装置の顕微鏡本体部を構成する鏡体部2a、電子銃部2b、真空排気系部2c及び電子銃リフタ-部2dはカバ-部2fによって覆われる。したがって、ダウンフロ-による風や音ははカバ-部2fによって遮蔽され、顕微鏡本体部に影響を与えることはない。このため、ダウンフロ-等による振動が顕微鏡本体内の電子光学部品に伝達されないため、その振動による分解能低下が防止される。

請求項（抜粋）：

清浄空気のダウンフロ-が形成されるクリ-ンル-ム内に配置して用いられる、顕微鏡本体部を含む電子顕微鏡装置であって、前記顕微鏡本体部に当たる、前記ダウンフロ-による風を遮蔽する遮蔽体を備えていることを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 , H01J 37/28

FI (2件)：

H01J 37/20 G , H01J 37/28 C

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭52-120760
荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-007919 出願人：株式会社日立製作所
特開平1-276713

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審査官引用 (9件)

特開昭52-120760
特開昭52-120760
荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-007919 出願人：株式会社日立製作所

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