特許
J-GLOBAL ID：200903045943674816

圧電共振器及び圧電共振器の製造方法

発明者：
神山 智英

神山 智英 について

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大西 慶治

大西 慶治 について

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中塚 宏

中塚 宏 について

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山川 岳彦

山川 岳彦 について

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岩崎 智弘

岩崎 智弘 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-277941
公開番号（公開出願番号）：特開2007-143125
出願日： 2006年10月11日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】振動部の振動が支持部から漏れることを抑えて良好な周波数特性を有する圧電共振器を提供する。【解決手段】圧電体層101の一方主面に上部電極103が、他方主面に下部電極102が形成される。振動部104は、下部電極102、圧電体層101、及び上部電極103が垂直投影方向に重なる領域となる。また、下部電極102及び上部電極103を入出力電極107に接続するための配線電極108が、圧電体層101の一方主面及び他方主面にそれぞれ設けられる。この振動部104は、支持部109を介して基板105に載置(接合)される。この支持部109は、振動部104を形成している領域と、入出力電極107及び配線電極108が形成されている領域とを除く、圧電体層101の位置に形成される。すなわち、支持部109は、いずれの電極とも垂直投影方向に重ならない位置に設けられる。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
所定の周波数で振動する圧電共振器であって、 圧電薄膜からなる圧電体層と、 前記圧電体層の一方主面上に形成された上部電極と、 前記圧電体層の他方主面上に形成された下部電極と、 基板と、 前記圧電体層と前記基板との間に設けられる支持部とを備え、 前記支持部は、前記下部電極及び前記上部電極のいずれとも垂直投影方向に重ならない位置に設けられることを特徴とする、圧電共振器。
IPC (7件)：
H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/54 ,  H03H 9/70 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (8件)：
H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H03H9/54 Z ,  H03H9/70 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z
Fターム (15件)：
5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108DD01 ,  5J108DD06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE14 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03 ,  5J108MM04 ,  5J108MM11 ,  5J108MM15
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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