特許
J-GLOBAL ID：200903001305575340
圧電素子、および複合圧電素子、ならびにそれらを用いたフィルタ、共用器、通信機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-331897
公開番号（公開出願番号）：特開2005-176332
出願日： 2004年11月16日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】スプリアスレスポンスを効果的に抑圧することができ、良好な振動特性が得られるように改良された圧電素子を提供すること。【解決手段】 本発明の圧電素子は、基板21と、下部電極層と、圧電体層と、上部電極層23と、圧電振動部の下に形成された空洞部と、二以上の架橋部2a,2bとを備える。二以上の架橋部2a,2bは、圧電振動部における積層方向への投影において、圧電振動部を通るいかなる線分に対しても互いに線対称とならないように、および/または、圧電振動部内のいかなる点に対しても互いに点対称とならないように、形成されている。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
圧電素子であって、
基板と、
前記基板の上方に積層された下部電極層と、
前記下部電極層の上方に積層された圧電体層と、
前記圧電体層の上方に積層された上部電極層と、
前記下部電極層、前記圧電体層、および前記上部電極層によって構成される圧電振動部の下に形成された空洞部と、
前記圧電振動部の周縁の一部から延び、前記空洞部の上方で、前記圧電振動部を前記基板に支持するための二以上の架橋部とを備え、
前記二以上の架橋部は、前記圧電振動部における積層方向への投影において、前記圧電振動部を通るいかなる線分に対しても互いに線対称とならないように、および/または、前記圧電振動部内のいかなる点に対しても互いに点対称とならないように、形成されていることを特徴とする、圧電素子。
IPC (7件)：
H03H9/17
, H01L41/08
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/187
, H03H9/58
, H03H9/70
H03H9/17 F
, H03H9/58 A
, H03H9/70
, H01L41/08 C
, H01L41/08 J
, H01L41/08 D
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
5J108AA01
, 5J108AA06
, 5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108FF02
, 5J108FF04
, 5J108FF05
, 5J108GG03
, 5J108JJ01
, 5J108JJ02
, 5J108JJ04
, 5J108KK02
, 5J108KK07
