回転角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207355
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119942
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】従来の回転角速度センサを改良することにある。【解決手段】回転角速度センサが、第1の方向(X軸方向)で振動を励起される振動体(1)を有している。Z軸を中心として回転した場合に、Y軸方向でコリオリ力が発生する。このコリオリ力は、振動ばね(2)によって検出エレメント(3)に伝達されかつこの検出エレメントにおいて可動な電極(5)の変位により検出される。

請求項（抜粋）：

回転角速度センサであって、少なくとも1つの振動体(1)を備え、該振動体が、第1の方向(X軸方向)で振動を励起されかつ回転時に発生するコリオリ力により、第1の方向に対して垂直な第2の方向(Y軸方向)で変位可能である形式のものにおいて、振動体(1)が、弾性エレメント(2)を介して検出エレメント(3)に結合されており、弾性エレメント(2)が、第1の方向(X軸)で僅かな剛性を有しかつ第2の方向(Y軸)で大きな剛性を有することを特徴とする、回転角速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (6件)

力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-274529 出願人：日本電装株式会社
慣性センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-049519 出願人：株式会社東芝
多軸振動モノリシックジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-301707 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

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