特許
J-GLOBAL ID：200903046002746323
マイクロメカニカル共鳴装置およびマイクロメカニカル装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏原 三枝子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-507661
公開番号（公開出願番号）：特表2006-518119
出願日： 2003年12月17日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
マイクロメカニカル共鳴器装置と、当該マイクロメカニカル共鳴器装置を製造する方法、同様に、前記共鳴器装置の一またはそれ以上のサイド節点でアンカリングすることによってアンカーロスを最小限にしたその他の外延的モード装置を提供する。この共鳴器は空気中動作するときの制動力がより低くなる。
請求項（抜粋）：
所望のモード形状を有するマイクロメカニカル共鳴器装置において、当該装置が:
基板と;
静止表面領域を有する共鳴器であって、前記所望のモード形状が、前記共鳴器の周辺部に配置された複数の周辺節点によって特徴付けられ、前記所望のモード形状が共鳴時に前記静止表面の摩擦のみの動きを伴うものである、共鳴器と;
前記基板上に前記共鳴器を支持するために前記基板に定着され、前記基板に対する機械的ロスを低減するために前記周辺節点の少なくとも一つにおいて前記共鳴器に取り付けられた非侵入支持構造と;
を具えることを特徴とする装置。
IPC (4件)：
H03H 9/24
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, H03H 3/007
H03H9/24 Z
, B81B3/00
, B81C1/00
, H03H3/007 M
