高分子の超薄膜加工法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-563295
公開番号（公開出願番号）：特表2003-525121
出願日： 2001年02月06日
公開日（公表日）： 2003年08月26日
要約：

【要約】炭素含有材料の超薄膜特に高分子材料の超薄膜をつくる方法において。0.5μm以下の厚さの膜は液相から材料を固体表面に付着させることによって形成される。付着は囲いの中で行われ、その中で材料は付着後処理も施される。囲いの中の全湿気分は、材料および/または囲いの中の雰囲気から水および水蒸気を排除および/または除去することによって、囲いの容積に等しい空気の体積中での50%未満の相対湿度に相当するレベルに維持されなければならない。

請求項（抜粋）：

炭素含有材料の超薄膜特に高分子材料の超薄膜をつくる方法であって、そこでは、膜は0.5μm以下の厚さを有し、そこでは、膜は材料を液相から固体表面に付着させることによって形成され、そこでは、液相は溶融状態の又は溶媒に溶解した材料によって形成され、そこでは、付着は囲いの中で行われ、囲いは特にクリーンルーム又は製造装置内の閉じた小区画であり、そこでは、材料は適切な付着後処理で強誘電性および/またはエレクトレット性を示すことができ、そして、そこでは、方法は、液相、固体表面、および、付着および付着後処理中の固体表面上の囲いの自由容積、の少なくとも一つから水および水蒸気を排除および/または除去することによって、囲いの容積に等しい空気の体積の中でのそしてその空気が1気圧の圧力である中での50%未満の相対湿度に相当する囲い内の全湿気分を維持し、付着および付着後処理中のどの時点でもこの全湿気分の維持は囲い内の実際の水蒸気圧ばかりでなく液相の水分を考慮している、ことを特徴とする、前記方法。

IPC (5件)：

B05D 5/12 , B05D 3/12 , C08J 5/18 CER , C08J 5/18 CEZ , C08L101:00

FI (5件)：

B05D 5/12 Z , B05D 3/12 A , C08J 5/18 CER , C08J 5/18 CEZ , C08L101:00

Fターム (51件)：

4D075AA01 , 4D075AA76 , 4D075AA82 , 4D075AB01 , 4D075AB52 , 4D075AC01 , 4D075AC22 , 4D075AC53 , 4D075AC64 , 4D075AC92 , 4D075BB24X , 4D075BB24Z , 4D075BB56X , 4D075BB56Z , 4D075BB57X , 4D075BB91Z , 4D075BB92Z , 4D075CA21 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB31 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075EA07 , 4D075EA15 , 4D075EB13 , 4D075EB15 , 4D075EB17 , 4D075EB18 , 4D075EB19 , 4D075EB22 , 4D075EB32 , 4D075EB35 , 4D075EB38 , 4D075EB39 , 4F071AA15 , 4F071AA25 , 4F071AA26 , 4F071AA29 , 4F071AA33 , 4F071AA34 , 4F071AA46 , 4F071AA50 , 4F071AA52 , 4F071AA53 , 4F071AA54 , 4F071BA02 , 4F071BB02 , 4F071BC01

引用特許：

審査官引用 (5件)

積層フイルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-070345 出願人：東洋紡績株式会社
特開平2-307566
ポリイミド樹脂膜の形成方法及びポリイミド樹脂膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-142035 出願人：富士通株式会社

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