特許
J-GLOBAL ID：200903046036950264
スクライブ装置及びスクライブ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 宜喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-050716
公開番号（公開出願番号）：特開2009-208237
出願日： 2008年02月29日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：
【課題】脆性材料基板のスクライブにおいて内切りスクライブ、外切りスクライブ等をスクライブライン毎に設定できるようにすること。【解決手段】テーブル106上に脆性材料基板107を配置し、テーブル106をy軸方向に移動自在とすると共に、モータ105により回転自在とする。又スクライブヘッド112をx軸方向に沿って移動自在とする。スクライブライン毎に内切りスクライブ及び外切りスクライブの種別をあらかじめ設定したレシピデータテーブルを保持しておく。こうすればレシピデータテーブルに基づいてスクライブライン毎に内切りスクライブ又は外切りスクライブを行うことができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
脆性材料基板上に形成された機能領域を各機能領域毎に分断して製品基板とするためスクライブするスクライブ装置であって、
前記スクライブの種別を、前記脆性材料基板の一つの辺の内側より他の辺の内側までの内切りスクライブと、前記脆性材料基板の一辺の外側より他の辺の外側までの外切りスクライブとし、
前記スクライブ装置は、
前記脆性材料基板が設置されるテーブルと、
前記テーブル上の脆性材料基板に対向するように昇降自在に設けられ、その先端にスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、
前記スクライビングホイールを前記脆性材料基板の表面に押圧した状態で前記スクライブヘッド及び脆性材料基板を相対的に移動させる移動手段と、
スクライブするラインと、その種別を含むスクライブ内容を示したレシピデータテーブルをあらかじめ保持し、前記レシピデータテーブルに基づいて前記移動手段により前記スクライブヘッド及び脆性材料基板を相対的に移動させると共に、前記スクライブヘッドを昇降させてスクライブの種別に応じたスクライブを行うコントローラと、を具備するスクライブ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3C069AA03
, 3C069BA04
, 3C069BB01
, 3C069BC03
, 3C069BC06
, 3C069CA03
, 3C069EA01
, 3C069EA02
