波長≦100nmで物体を検査する反射型X線顕微鏡および検査系

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-504243
公開番号（公開出願番号）：特表2005-525565
出願日： 2003年05月08日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

本発明は、物体平面内での物体を検査する反射型X線顕微鏡において、物体は、波長<100nm、特に、<30nmの光線で照明され、像平面に拡大して結像され、第1鏡と第2鏡とを含み、物体平面から像平面までの光路内に配置される第1副系とを備える。本発明は、反射型X線顕微鏡が光路内で第1副系に後置されて少なくとも第3鏡を有する第2副系を含むことにより特徴付けられる。

請求項（抜粋）：

物体平面内での物体を検査する反射型X線顕微鏡において、物体は、波長<100nm、特に、<30nmの光線で照明され、像平面内で拡大して結像され、第1鏡(S1)と第2鏡(S2)とを含み、物体平面(1)から像平面(3)までの光路内に配置される第1副系とを備え、反射型X線顕微鏡は、光路内で第1副系に後置される少なくとも一つの第3鏡(S3)を有する第2副系を含むことを特徴とする前記反射型X線顕微鏡。

IPC (4件)：

G21K7/00 , G03F1/16 , G21K1/06 , H01L21/027

FI (5件)：

G21K7/00 , G03F1/16 F , G21K1/06 M , H01L21/30 502V , H01L21/30 531M

Fターム (5件)：

2H095BA10 , 2H095BD04 , 2H095BD14 , 2H095BD18 , 5F046GD11

引用特許：

審査官引用 (9件)

X線マスク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-140981 出願人：株式会社ニコン
特開平2-223900
特開平2-223900

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