特許
J-GLOBAL ID：200903046076766687
静電チャックおよび静電吸着構造
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-140916
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050676
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：
【要約】【課題】静電チャックを導電性部材へと接合した後に生ずる吸着力の低下を防止する。【解決手段】静電チャックは、ウエハー設置面2aとこのウエハー設置面とは反対側の背面2bとが設けられている基体2と、基体内に埋設された静電チャック4A,4B電極と、基板背面に設けた絶縁層7とを有し、該基体2が、少なくとも前記ウエハー設置面2aを有しかつ静電チャック電極4A,4Bを包囲する誘電体層3を含み、該絶縁層7が誘電体層3の体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する絶縁性材料からなる。絶縁層7を冷却用部材5等に接合する。
請求項（抜粋）：
ウエハー設置面とこのウエハー設置面とは反対側の背面とが設けられている基体と、基体内に埋設された静電チャック電極と、基板背面に設けた絶縁層とを有し、該基体が、少なくとも前記ウエハー設置面を有しかつ静電チャック電極を包囲する誘電体層を含み、該絶縁層が誘電体層の体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する絶縁性材料からなることを特徴とする、静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA16
, 5F031HA38
