静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-244282
公開番号（公開出願番号）：特開2000-077508
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】250〜450°Cの高温下で静電吸着用の電極より下側に存在するセラミック部の絶縁性を維持した状態で、ジョンソン・ラーベック効果による大きく吸着力を発現できる静電チャックを提供する。【解決手段】吸着面3を有し、静電吸着用の電極4を埋設した板状セラミック体2を、導体ペーストを印刷したグリーンシートと導体ペーストを印刷していないグリーンシートを密着液を介して所定の順序で熱圧着し、焼成することにより、静電吸着用の電極4の導体成分が、この電極4から吸着面3までの間に存在するセラミック部Pに拡散させて静電チャック1を構成する。

請求項（抜粋）：

板状セラミック体の一主面を吸着面とすべく、その内部に電極を埋設してなり、上記吸着面上に載置する被保持物と前記電極との間に生じる静電気力によって上記被保持物を吸着保持する静電チャックにおいて、少なくとも上記電極から吸着面までのセラミック部に上記電極の導体成分を拡散させたことを特徴とする静電チャック。

Fターム (2件)：

5F031FF03 , 5F031KK07

引用特許：

出願人引用 (6件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-039790 出願人：京セラ株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-314953 出願人：京セラ株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-258148 出願人：京セラ株式会社

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審査官引用 (3件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-039790 出願人：京セラ株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-314953 出願人：京セラ株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-258148 出願人：京セラ株式会社

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