特許

J-GLOBAL ID：200903046142228276

分離可能な独立駆動型モジュールを有するインプリンティング装置

発明者： リー ジェ-ジョン ,  チョイ キー-ボン ,  キム ギー-ホン ,  チュン クワン-ジョ
出願人/特許権者： コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・メタルズ
代理人 (4件)： 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎 ,  平田 晴洋
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-554017
公開番号（公開出願番号）：特表2007-531985
出願日： 2005年01月27日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

インプリンティング装置は、プレートユニットと、前記プレートユニットの下面に複数個配置され、所定のコントローラによって前記プレートユニットに伴って上下動すると共に、各々が6自由度方式で自己整合するインプリンティングモジュールとを備える。各インプリンティングモジュールの下端面に形成されたパターンを対象物の所定の範囲内にインプリンティングし、且つ、複数のインプリンティングモジュールで対象物にインプリンティングする順番を多様に制御するために、インプリンティングモジュールの各々は、対象物に対する相対的な姿勢ずれを補正するよう、対象物の表面状態に応じて独立的に自己整合可能とされている。

請求項（抜粋）：

プレートユニットと、 前記プレートユニットの下面に複数個配置され、所定のコントローラによって前記プレートユニットに伴って上下動すると共に、各々が6自由度方式で自己整合するインプリンティングモジュールと、を備えたインプリンティング装置であって、 前記インプリンティングモジュールの各々は、それぞれのインプリンティングモジュールの下端面に形成されたパターンを対象物表面の所定の範囲内にインプリンティングさせるために、対象物に対する相対的な姿勢ずれを補正することができるよう、対象物の表面状態に応じて独立的に自己整合が可能とされ、且つ、 複数のインプリンティングモジュールで対象物にインプリンティングする順番を多様に制御することが可能とされていることを特徴とするインプリンティング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  B81C 5/00

FI (2件)：

H01L21/30 502D ,  B81C5/00

Fターム (4件)：

3C081AA01 ,  3C081BA55 ,  3C081CA37 ,  5F046BA10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インプリント・リソグラフィの散乱計測アラインメント
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-526254   出願人：モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
• インプリント・リソグラフィのための高精度方向付けアライメントデバイスおよびギャップ制御デバイス
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-535125   出願人：ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム