感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法およびプリント配線板の製造法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-113572
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114521
出願日： 2002年04月16日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】生産性に優れ、かつ、解像性、密着性も良好な感光性樹脂組成物およびそれを用いた感光性エレメントを提供すること。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤、および(D)ヒンダードアミン化合物を含有してなる感光性樹脂組成物、および、この感光性樹脂組成物層からなるレジスト層が支持体上に形成されてなる感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤、および(D)ヒンダードアミン化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 502 , G03F 7/004 512 , C08F 2/44 , C08F291/00 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (6件)：

G03F 7/004 502 , G03F 7/004 512 , C08F 2/44 C , C08F291/00 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

Fターム (100件)：

2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025CA01 , 2H025CA28 , 2H025CB13 , 2H025CB16 , 2H025CB43 , 2H025DA01 , 2H025EA08 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H025FA43 , 4J011AA05 , 4J011AC04 , 4J011BA04 , 4J011CA01 , 4J011CA08 , 4J011CC07 , 4J011CC10 , 4J011DA02 , 4J011FA07 , 4J011FB01 , 4J011PA65 , 4J011PA69 , 4J011PA85 , 4J011PA86 , 4J011PA88 , 4J011PA95 , 4J011PA96 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA03 , 4J011QA12 , 4J011QA14 , 4J011QA18 , 4J011QA22 , 4J011QB16 , 4J011RA03 , 4J011RA06 , 4J011RA07 , 4J011RA10 , 4J011RA19 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA51 , 4J011SA63 , 4J011SA71 , 4J011SA78 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J026AA16 , 4J026AA17 , 4J026AA44 , 4J026AA49 , 4J026AA50 , 4J026AA52 , 4J026AB01 , 4J026AB02 , 4J026AB04 , 4J026AB07 , 4J026AB11 , 4J026AB28 , 4J026BA27 , 4J026BA28 , 4J026BA40 , 4J026BB02 , 4J026BB10 , 4J026DB05 , 4J026DB06 , 4J026DB36 , 4J026FA05 , 4J026FA09 , 4J026GA06 , 4J026GA08 , 4J026GA10 , 5E339AB02 , 5E339BD06 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE16 , 5E339CF15 , 5E343AA12 , 5E343BB67 , 5E343BB71 , 5E343CC62 , 5E343ER11 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG01 , 5E343GG06

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭61-249045
特開平1-245245
特開平3-087744

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