特許
J-GLOBAL ID：200903015881731820

感光性エレメント、感光性エレメントの製造法、これを用いたレジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者：
板垣 勝俊

板垣 勝俊 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355855
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174987
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 長期保存後の感度、密着性、耐色抜け性、イメージング性及び膜厚精度が優れ、エッジフュージョンの発生を長期間防ぐことができる感光性エレメント、及び感光性エレメントの製造法、これを使用することにより生産性及び作業性が優れるレジストパターンの製造法並びにプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 吸湿能又は吸水能を有するフィルム上に感光性樹脂組成物の層を積層した感光性エレメント、及び感光性エレメントの製造法、さらに前記感光性樹脂組成物の層の支持体とは反対側の面に吸湿能又は吸水能を有するフィルムを積層してなる感光性エレメントの製造法、この感光性エレメントを、使用したレジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンの製造法により、製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造法。
請求項（抜粋）：
吸湿能又は吸水能を有するフィルム上に感光性樹脂組成物の層を積層した感光性エレメント。
IPC (9件)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/09 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/40 521 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (9件)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/09 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/40 521 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D
Fターム (47件)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC43 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA28 ,  2H025CB16 ,  2H025DA18 ,  2H025DA40 ,  2H025FA03 ,  2H025FA15 ,  2H025FA40 ,  2H025FA43 ,  2H096AA00 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096CA05 ,  2H096CA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA03 ,  2H096GA08 ,  2H096HA17 ,  2H096HA27 ,  2H096JA04 ,  2H096LA16 ,  5E339BE11 ,  5E339CC01 ,  5E339CC10 ,  5E339CE12 ,  5E339CE16 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD02 ,  5E339FF10 ,  5E339GG10 ,  5E343CC63 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343ER32 ,  5E343GG20
引用特許：
審査官引用 (13件)
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