温度補償用薄膜コンデンサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256405
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075783
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】本発明は、小型化、薄型化、軽量化が容易であって、温度補償が可能な薄膜コンデンサの提供を目的とする。また、本発明は先の特徴を満たした上で高周波帯域でのQ値が優れた薄膜コンデンサを提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、比誘電率の異なる第1の誘電体薄膜4、6と第2の誘電体薄膜5が一対の電極3、7間に2つ以上介在されたことを特徴とする。更に、本発明において、前記第1の誘電体薄膜の容量温度係数の絶対値が50ppm/°C以下、前記第2の誘電体薄膜の容量温度係数が負でその絶対値が500ppm/°C以上とすることができる。

請求項（抜粋）：

比誘電率の異なる第1の誘電体薄膜と第2の誘電体薄膜が一対の電極間に2つ以上介在されたことを特徴とする温度補償用薄膜コンデンサ。

IPC (7件)：

H01G 4/33 , H01G 4/12 394 , H01G 4/12 397 , G01N 27/00 , H01B 3/00 , H01B 3/12 304 , H01B 3/12 336

FI (7件)：

H01G 4/12 394 , H01G 4/12 397 , G01N 27/00 D , H01B 3/00 F , H01B 3/12 304 , H01B 3/12 336 , H01G 4/06 102

Fターム (38件)：

2G060AD01 , 2G060AE40 , 2G060AF11 , 2G060AF20 , 2G060AG11 , 2G060GA02 , 2G060HC07 , 2G060HC15 , 2G060HD03 , 2G060KA09 , 5E001AB06 , 5E001AD04 , 5E001AE00 , 5E001AE03 , 5E082AB03 , 5E082BC15 , 5E082EE05 , 5E082EE37 , 5E082FF15 , 5E082FG03 , 5E082FG22 , 5E082FG26 , 5E082FG42 , 5E082KK01 , 5E082PP01 , 5E082PP05 , 5E082PP08 , 5G303AA01 , 5G303AB02 , 5G303AB06 , 5G303AB08 , 5G303AB20 , 5G303BA03 , 5G303CA01 , 5G303CB06 , 5G303CB19 , 5G303CB30 , 5G303CB35

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-110618
薄膜キャパシタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-323485 出願人：株式会社東芝
特開平4-037011

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