クリーンボックス

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡邉勇 , 堀田信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-010288
公開番号（公開出願番号）：特開2007-119072
出願日： 2007年01月19日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：

【課題】収容した基板への外部雰囲気からの汚染を効率よく防止するのみでなく、基板自身及び内部構成部材から発生する汚染をも効果的に防止することができるようにしたクリーンボックスを提供する。【解決手段】基板を収容するための容器本体12とこれの開口部を密閉可能に覆う蓋体14とにより構成される保持容器18と、容器本体12内において基板に接触する気流の循環流を形成するモータファン30と、基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタ26およびガス状不純物捕捉フィルタ28と、容器本体12内に配置された除湿剤54とを備え、保持容器18は、帯電防止剤を混入した樹脂から構成した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を収容するための容器本体とこれの開口部を密閉可能に覆う蓋体とにより構成される保持容器と、該容器本体内において前記基板に接触する気流の循環流を形成するモータファンと、前記基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、前記容器本体内に配置された除湿剤とを備え、前記保持容器は、帯電防止剤を混入した樹脂から構成したことを特徴とするクリーンボックス。

IPC (2件)：

B65D 85/86 , B65D 25/02

FI (2件)：

B65D85/38 R , B65D25/02 Z

Fターム (22件)：

3E062AA01 , 3E062AB07 , 3E062AC02 , 3E062BA20 , 3E062BB02 , 3E062BB09 , 3E096AA06 , 3E096BA15 , 3E096BB04 , 3E096CA09 , 3E096CB03 , 3E096CC02 , 3E096DA01 , 3E096DA17 , 3E096DA26 , 3E096DA30 , 3E096EA02X , 3E096EA02Y , 3E096FA02 , 3E096FA03 , 3E096FA07 , 3E096GA20

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭63-032950
クリーンボックス及びその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-087964 出願人：株式会社荏原製作所
特開昭60-193877

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