部品整列検査方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-033306
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232799
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】多数の部品が正しく整列されているか否かを調べる検査方法で、検査用の場所に移動する時間を短縮して、高速に検査を行うことで装置のサイクルタイムを短縮する。【解決手段】整列された部品を真空吸引する吸着ヘッドに真空度検出センサもしくは集音装置と波形解析装置を取り付ける。

請求項（抜粋）：

多数の部品が正しく整列されているか否かを調べる検査方法において、真空度検出センサを利用することを特徴とする自動部品整列検査方法。

IPC (3件)：

H05K 13/08 , G01L 21/08 , H01L 21/321

FI (4件)：

H05K 13/08 D , G01L 21/08 , H01L 21/92 604 T , H01L 21/92 604 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

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