特許
J-GLOBAL ID：200903046387879175
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-250948
公開番号（公開出願番号）：特開平10-080168
出願日： 1996年09月02日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【解決手段】 電気絶縁性セラミックスからなる支持基板の表面に静電チャック用電極パターンが接合されると共に、裏面に上記静電チャック用電極パターンと同一又は類似形状のパターンが接合されていることを特徴とする静電チャック。【効果】 本発明によれば、半導体装置の基板となるウエハー等を静電気を利用して吸着する静電チャック、更には加熱機能を合わせ持つヒーター付静電チャックにおいて、その支持基板表面に静電チャックパターンが形成され、裏面には該パターンと同じ又は類似形状のパターン又は発熱パターンが形成されることにより、基板が薄くコンパクトでもその製造時の反りの発生が抑制され、またウエハーが加熱又は冷却される際に静電チャック及びヒーター付静電チャックの熱変形及び反り等が発生せずに静電吸着力が安定するという有利性が与えられ、低コストで性能の優れた静電チャック及びヒーター付静電チャックを供給することができる。
請求項（抜粋）：
電気絶縁性セラミックスからなる支持基板の表面に静電チャック用電極パターンが接合されると共に、裏面に上記静電チャック用電極パターンと同一又は類似形状のパターンが接合されていることを特徴とする静電チャック。
引用特許：
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