特許

J-GLOBAL ID：200903081961457756

静電チャック付セラミックスヒーター

発明者： 川田 敦雄 ,  狩野 正樹 ,  萩原 浩二 ,  新井 延男 ,  荒見 淳一 ,  石川 賢治
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-316374
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307377
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 半導体プロセスにおける昇降温プロセスに使用しても接合部に剥離の起らない静電チャック付セラミックスヒーターの提供。【構成】 電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる静電チャック用電極を接合すると共に、裏面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合し、それらの上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる静電チャック付セラミックスヒーターにおいて、該支持基材、該静電チャック用電極および該発熱層の表面粗さRmaxをともに5μm以上としてなる。

請求項（抜粋）：

電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる静電チャック用電極を接合すると共に、裏面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合し、それらの上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる静電チャック付セラミックスヒーターにおいて、該支持基材、該静電チャック用電極および該発熱層の表面粗さRmaxをともに5μm以上としてなることを特徴とする静電チャック付セラミックスヒーター。

IPC (9件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 37/00 ,  C04B 41/89 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/324 ,  H02N 13/00 ,  H05B 3/14

FI (2件)：

H01L 21/265 E ,  H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-358074
  
• 特開平4-345019
  
• ウエハー加熱装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-303289   出願人：日本碍子株式会社
• 静電チヤツク及び静電チヤツクに対する電圧印加方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-186854   出願人：東陶機器株式会社