特許

J-GLOBAL ID：200903046430516618

コンピュータ統合製造技術

発明者： ジョン アラッカパラムビル ,  トム チー ,  ビリー チョウ ,  パトリック エム ドスーザ ,  パーリス ホーキンズ ,  チャールズ ヒューアン ,  ジェット ジェンセン ,  バドリー エヌ クリシュナムルティー ,  プラディープ エム クルカルニー ,  プラカシュ エム クルカルニー ,  ウェン フォン リン ,  シャンター モハーン ,  ビシュヌ ハンディー ,  ヒューイ シン ユーアン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-231003
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143981
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】IC構造等の半導体装置のコンピュータ管理による一貫生産技術を提供する。【解決手段】新しい自動生産工場に適用するためのFALC(ファクトリーオートメーションライフサイクル)200と呼ぶシステムにより工場生産の一貫管理を行う。これはSW(ソフトウェア)開発・統合の段階210を経て、生産実行のための工場モデリンク230を活動させるためにSWはインストールされ220、一貫生産計画240、製造工程の制御、追跡・監視250とさまざまな工場モデルを可動させる。生産結果は、データ記憶・工程の分散・適応方法等と対応し解析し260SW・工場モデル・生産計画に適宜フィードバック270・280・290し、FALC200を改良する。

請求項（抜粋）：

コンピュータ実行型ファクトリーオートメーション・ライフサイクルを規定するための方法であって:a) ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定し、インストールし、及び管理する段階と;b) ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階と;及びc) 生産制御、監視及び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階とを具備することを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  G05B 19/418 ,  G06F 17/60 106

FI (3件)：

H01L 21/02 Z ,  G05B 19/418 Z ,  G06F 17/60 106

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 製造装置の運転支援システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-339952   出願人：株式会社日立製作所
• 半導体製造装置およびその工程管理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-297118   出願人：株式会社日立製作所