特許

J-GLOBAL ID：200903046521785204

立体形状測定装置

発明者： 小野 裕司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-374259
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243421
出願日： 2001年12月07日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 走査光学系の変形が発生しても、測定高さデータの変化が少なく、走査位置による計測高さデータの精度変動が少なく、高精度で信頼性が高い立体形状測定装置を提供する。【解決手段】 立体形状測定装置において、測定対象5をスポット光6aから6bに直線走査して反射光8を走査集光レンズ3に導く受光光学系9aで、走査集光レンズ3に入射する反射光8の見かけ上の発光点の位置が、走査光学系の変形でスポット光6がずれた場合同じ方向に動き、また、走査位置が変化しても前記見かけ上の発光点が常に走査平面上にあるように光学系を構成した。

請求項（抜粋）：

走査光束を測定対象の物体に照射して得られた反射光を光位置検出器によって検出し、各走査位置における検出結果から上記物体の立体形状を測定する立体形状測定装置において、光束を発生する手段と、該光束を偏向して走査させる偏向走査手段と、該走査偏向手段を通過した光束を集光する走査集光手段と、上記走査集光手段を通過した光束(以下、走査光束)の集光点が描く軌跡(以下、走査線)上の測定対象となる物体からの反射光を上記走査集光手段、及び上記偏向走査手段に導き、上記光位置検出器に入射させるとともに、上記走査光束と上記走査線の両者に垂直な方向(以下、副走査方向)に上記物体が移動した場合、上記光位置検出器にて得られる像の、上記副走査方向の移動の向きが、上記物体の移動の向きと同じで、かつ、上記像の移動距離が上記物体の移動距離の2倍未満となる反射光光路変換手段とを備えたことを特徴とする立体形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/10 103

FI (3件)：

G02B 26/10 D ,  G02B 26/10 103 ,  G01B 11/24 A

Fターム (23件)：

2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065DD06 ,  2F065EE08 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH08 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL14 ,  2F065LL32 ,  2F065LL47 ,  2F065MM15 ,  2H045BA02 ,  2H045CA02 ,  2H045CA33 ,  2H045CA53 ,  2H045CA63 ,  2H045CA93

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-166707
  
• 実装済プリント基板の検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-180838   出願人：松下電器産業株式会社
• 表面形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-127119   出願人：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社