特許
J-GLOBAL ID:200903046550290281
圧電複合装置、その製造方法、その取扱方法、その制御方法、入出力装置及び電子機器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
山口 邦夫
, 佐々木 榮二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-227053
公開番号(公開出願番号):特開2006-048302
出願日: 2004年08月03日
公開日(公表日): 2006年02月16日
要約:
【課題】 引出し電極と圧電素子とを一以上積層した積層圧電体群をアクチュエータとしても、力検出センサとしても機能できるようにする。【解決手段】 給電用の電極2と、共通電極6と、信号検出用の電極8と、給電用の電極2と共通電極6との間に接合された第1の圧電素子3と、共通電極6と信号検出用の電極8との間に接合された第2の圧電素子7とを備え、給電用の電極2と共通電極6との間には所定の電圧が供給され、検出用の電極8からは、外力に基づく力検出信号が取り出されるものである。この構成によって、圧電バイモルフ型のアクチュエータと、力検出センサとを複合した圧電複合装置を提供することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
給電用の電極、共通電極及び信号検出用の電極と、
前記給電用の電極及び共通電極の間に接合された第1の圧電素子と、
前記共通電極及び信号検出用の電極の間に接合された第2の圧電素子とを備え、
前記給電用の電極と共通電極との間には所定の電圧が供給され、
前記検出用の電極からは、外力に基づく力検出信号が取り出されることを特徴とする圧電複合装置。
IPC (7件):
G06F 3/041
, G01L 1/16
, H01H 9/16
, H01H 13/712
, H01L 41/09
, H01L 41/08
, H01L 41/22
FI (8件):
G06F3/03 380D
, G01L1/16 B
, G06F3/033 360P
, H01H9/16 G
, H01H13/70 E
, H01L41/08 M
, H01L41/08 Z
, H01L41/22 Z
Fターム (23件):
5B068AA05
, 5B068AA22
, 5B068BC07
, 5B068BE03
, 5B068BE06
, 5B068BE11
, 5B068DE11
, 5B087AA09
, 5B087AB12
, 5B087CC25
, 5G006AA01
, 5G006AZ02
, 5G006AZ04
, 5G006BA01
, 5G006BB05
, 5G006CD06
, 5G006FB01
, 5G006FB17
, 5G006FB21
, 5G006FD02
, 5G052AA23
, 5G052BB01
, 5G052JB20
引用特許: