X線光電変換器

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-026475
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229596
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】応答性が高く、かつ、S/N比の高いX線光電変換器を得る。【解決手段】本発明のX線光電変換器10のX線光導電層3はセレンを主成分としており、そのハロゲン濃度は1ppm以下になっている。そのようなX線光電変換器10では、X線光導電層3で電子の走行性が低下しないので、シグナルである信号電流の量が高くなり、かつ、X線の照射に対する信号電流の応答性が非常に高い。従って、本発明のX線光電変換器10は41msec以下の短時間で信号電流を切り替えることが可能であり、残像も残らないので、動画表示用に用いることができる。また、電荷収集電極2とX線光導電層3との間に電荷収集電極5を設けると、ノイズ電流が小さくなるので、X線光電変換器10から出力される信号電流のディジタル処理が容易になる。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に配置された電荷収集電極と、前記電荷収集電極上に配置されたX線光導電層と、前記X線光導電層上に配置された上部電極とを有し、前記電荷収集電極と前記上部電極との間に電圧を印加した状態でX線を照射すると、前記X線光導電層内に潜像が形成されるX線光電変換器であって、前記X線光導電層はセレンを主成分とし、前記X線光導電層に含まれるハロゲンの濃度が1ppm以下であることを特徴とするX線光電変換器。

IPC (4件)：

H01L 31/09 , G01T 1/24 , H01L 27/14 , H04N 5/30

FI (4件)：

G01T 1/24 , H04N 5/30 , H01L 31/00 A , H01L 27/14 K

Fターム (33件)：

2G088EE01 , 2G088FF02 , 2G088GG21 , 2G088JJ05 , 2G088JJ31 , 2G088LL11 , 2G088LL18 , 4M118AA01 , 4M118AB01 , 4M118BA07 , 4M118CA11 , 4M118CB05 , 4M118FB03 , 4M118FB08 , 4M118FB09 , 4M118GA10 , 5C024AX12 , 5C024CX03 , 5C024GX07 , 5F088AA11 , 5F088AB01 , 5F088BA02 , 5F088BA03 , 5F088BB07 , 5F088CB03 , 5F088CB06 , 5F088CB07 , 5F088CB08 , 5F088DA13 , 5F088FA04 , 5F088FA05 , 5F088GA02 , 5F088LA08

引用特許：

出願人引用 (2件)

光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-225976 出願人：富士電機株式会社
X線検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-090992 出願人：新電元工業株式会社, 山梨電子工業株式会社, 株式会社島津製作所

審査官引用 (2件)

光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-225976 出願人：富士電機株式会社
X線検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-090992 出願人：新電元工業株式会社, 山梨電子工業株式会社, 株式会社島津製作所

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