特許
J-GLOBAL ID:200903090519402089

光センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠部 正治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-225976
公開番号(公開出願番号):特開平11-068130
出願日: 1997年08月22日
公開日(公表日): 1999年03月09日
要約:
【要約】【課題】光センサにおいて、X線や紫外線を含む短波長に感度を高くし、且つ、小型化を図る。【解決手段】導電性アルミニウム基板1上に、Se層2を形成し、そのSe層2上に導電性アルミニウム電極3を形成し、Se層2を導電性アルミニウム基板1と導電性アルミニウム電極3で挟んだサンドイッチ構造の光検出部10を形成し、電源26により電圧を導電性アルミニウム基板1と導電性アルミニウム電極3の間に印加し、Se層2に入射した光(X線など)で発生した電荷を電流検出回路20に流し、抵抗27の両端の電圧が増幅器28で増幅し、流れた電流量の大小により、光(X線など)の強度を測定する。
請求項(抜粋):
第1導電性支持体と、該第1導電性支持体上に形成され、X線および紫外線を含む短波長の光を受光し、受光した光エネルギーを電気エネルギーに変換する感光層と、該感光層上に形成された、X線または紫外線を透過する第2導電性電極を有することを特徴とする光センサ。
IPC (5件):
H01L 31/0248 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/27 ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/14
FI (5件):
H01L 31/08 K ,  G01B 11/00 H ,  G01N 21/27 Z ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/14 K
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • イメージ検出器
    公報種別:公表公報   出願番号:特願平8-504853   出願人:フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
  • 電磁波センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-138205   出願人:株式会社堀場製作所
  • 撮像素子及びその動作方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-185293   出願人:日本放送協会, 株式会社日立製作所

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