特許
J-GLOBAL ID:200903046624230502
被覆膜の除膜方法および被覆部材の再生方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大川 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-254289
公開番号(公開出願番号):特開2008-075114
出願日: 2006年09月20日
公開日(公表日): 2008年04月03日
要約:
【課題】基材の表面に被覆膜が形成された被覆部材において、被覆膜が炭素を主成分とする炭素系被覆膜さらには金属元素等を含む炭素系被覆膜であっても被覆膜を容易に除去できる、新規な被覆膜の除膜方法を提供する。また、被覆膜を除去した後、再び被覆膜を成膜することで、被覆部材を再生する方法を提供する。【解決手段】本発明の被覆膜の除膜方法は、基材と、基材の表面の少なくとも一部に被覆され炭素を主成分とする炭素系被覆膜と、からなる被覆部材10から炭素系被覆膜を除去する除膜方法であって、炭素に対して酸化作用をもつ溶融塩2を炭素系被覆膜に接触させて基材の表面に被覆された炭素系被覆膜の少なくとも一部を除去する。また、本発明の被覆部材の再生方法は、本発明の被覆膜の除膜方法を用いて被覆部材から炭素系被覆膜を除去した(11)後に、その表面に被覆膜を形成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材と該基材の表面の少なくとも一部に被覆され炭素を主成分とする炭素系被覆膜とからなる被覆部材から該炭素系被覆膜を除去する除膜方法であって、
炭素に対して酸化作用をもつ溶融塩を前記炭素系被覆膜に接触させて前記基材の表面に被覆された該炭素系被覆膜の少なくとも一部を除去することを特徴とする被覆膜の除膜方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (26件):
4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA17
, 4K030BA28
, 4K030BA48
, 4K030BB13
, 4K030CA02
, 4K030CA16
, 4K030DA03
, 4K030FA03
, 4K030LA21
, 4K053PA02
, 4K053QA07
, 4K053RA06
, 4K053RA25
, 4K053RA26
, 4K053RA28
, 4K053RA68
, 4K053SA06
, 4K053TA14
, 4K053TA15
, 4K053TA18
, 4K053TA19
, 4K053XA11
, 4K053XA45
, 4K053YA02
引用特許: