特許

J-GLOBAL ID：200903046688156349

検査装置及びその配置構造

発明者： 秋山 収司 ,  保坂 広樹
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-020716
公開番号（公開出願番号）：特開2003-224169
出願日： 2002年01月29日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】 ウエハが大型化するとウエハに反りが発生し易くなり、反りのあるウエハを装置内のウエハ搬送機構で搬送する場合、ウエハの搬送過程でウエハがウエハ搬送機構から滑落したり、ウエハ搬送機構からメインチャック上にウエハを引き渡す際にメインチャック上でウエハを受け取ることができなかったり、あるいはメインチャック上にウエハが固定できず、検査を行うことができなくなる。【解決手段】 本発明のプローバ2は、メインチャック26内にその表面で開口する第3、第4真空排気通路26C、26Dを設けると共に第3、第4真空排気通路26C、26Dにエジェクタ302F、302Fを連通、遮断可能に接続し、エジェクタ302F、302Fを介して第3、第4真空排気通路26C、26D内を減圧してウエハWをメインチャック26上に吸着する。

請求項（抜粋）：

被処理体を搬送する搬送機構と、この搬送機構と協働して上記被処理体の位置合わせを行う位置合わせ機構と、この位置合わせ機構を介して位置合わせされた被処理体を上記搬送機構を介して受け取って吸着する移動可能な検査用の載置台を備え、上記載置台が移動して上記被処理体の電気的特性検査を行う検査装置において、上記載置台内にその表面で開口する排気通路を少なくとも一つ設けると共にこの排気通路にエジェクタを連通、遮断可能に接続し、上記エジェクタを介して上記排気通路内を減圧して上記被処理体を上記載置台上に吸着することを特徴とする検査装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  B65G 49/07 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/68

FI (7件)：

H01L 21/66 B ,  B65G 49/07 G ,  G01R 31/26 J ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/68 B ,  H01L 21/68 P ,  G01R 31/28 H

Fターム (62件)：

2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G003AG08 ,  2G003AG11 ,  2G003AG16 ,  2G003AH00 ,  2G003AH01 ,  2G003AH07 ,  2G132AA00 ,  2G132AE01 ,  2G132AE03 ,  2G132AE23 ,  2G132AE24 ,  2G132AF02 ,  2G132AL00 ,  4M106DD00 ,  4M106DD30 ,  5F031CA01 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031EA06 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA04 ,  5F031GA24 ,  5F031GA32 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA58 ,  5F031GA59 ,  5F031HA14 ,  5F031HA53 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031JA04 ,  5F031JA10 ,  5F031JA21 ,  5F031JA22 ,  5F031JA34 ,  5F031JA47 ,  5F031JA50 ,  5F031KA02 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11 ,  5F031KA13 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031NA02 ,  5F031NA08 ,  5F031NA15 ,  5F031PA03 ,  5F031PA04 ,  5F031PA14 ,  5F031PA16 ,  5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウエハと接触子の位置合わせ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-054423   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 電子部品吸着装置および電子部品試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-263563   出願人：株式会社アドバンテスト