イオン源

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-093213
公開番号（公開出願番号）：特開2001-283745
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】気体を原料とした従来のイオン源では,微小径のイオンビームを得ることは難しく,イオンの電界放出を用いたイオン源では,微小径のイオンビームを得ることはできても,ガス効率が著しく低く装置も複雑になってしまうという問題があった。【解決手段】本発明は,微小開孔からカソード電極の開孔に向かって高圧噴射された原料ガスに電界を印加して,微小領域においてプラズマを生成することにより,簡素な構成によりガス効率を損ねることなく微小径のイオンビームを得ることを図ったものである。

請求項（抜粋）：

カソード電極の原料ガス導入側で生成されたプラズマから前記カソード電極に設けられた開孔を通じてイオンを引き出してなるイオン源において,前記カソード電極の開孔よりも小さな微小開孔を備えた原料ガス導入部を有し,前記原料ガス導入部と前記カソード電極との間に電圧を印加することにより,前記原料ガス導入部の微小開孔から前記カソード電極の開孔に向かって高圧噴射された原料ガスをプラズマ化してなることを特徴とするイオン源。

IPC (7件)：

H01J 27/04 , C23C 14/48 , G03F 7/20 506 , H01J 37/08 , H01L 21/265 603 , H01L 21/027 , H01L 21/3065

FI (7件)：

H01J 27/04 , C23C 14/48 Z , G03F 7/20 506 , H01J 37/08 , H01L 21/265 603 A , H01L 21/30 551 , H01L 21/302 D

Fターム (18件)：

2H097AA03 , 2H097CA01 , 2H097CA11 , 2H097LA10 , 4K029CA10 , 4K029DE02 , 5C030DD03 , 5C030DE04 , 5F004BA11 , 5F004BB03 , 5F004BB12 , 5F004BB13 , 5F004BC02 , 5F004BD06 , 5F004CA02 , 5F004DA22 , 5F056AA40 , 5F056EA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

グロー放電型イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-299239 出願人：日本電子株式会社
特開昭50-085389
特開昭63-043249

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