特許
J-GLOBAL ID：200903046756527857
単結晶製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350039
公開番号（公開出願番号）：特開平9-175881
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 排気系に水封缶を有するチョクラルスキー法による単結晶製造装置において、前記水封缶内の封水の簡単かつ確実な逆流防止対策を施し、水蒸気爆発の危険を排除することができる装置を提供する。【解決手段】 排気系に水封缶を有するチョクラルスキー法による単結晶製造装置において、前記水封缶の前段に緩衝缶を設置したことを特徴とする単結晶製造装置、または排気系に水封缶を有するチョクラルスキー法による単結晶製造装置において、前記水封缶の前段に真空破壊弁を設置したことを特徴とする単結晶製造装置。この場合、前記水封缶の前段に緩衝缶と真空破壊弁の両方を設置する方が、より安全性、確実性の点から望ましい。また、本発明の単結晶製造装置では、製造する単結晶がシリコンである場合に特に有益である。
請求項（抜粋）：
排気系に水封缶を有するチョクラルスキー法による単結晶製造装置において、前記水封缶の前段に緩衝缶を設置したことを特徴とする単結晶製造装置。
IPC (2件)：
C30B 15/00
, C30B 29/06 502
C30B 15/00 Z
, C30B 29/06 502 K
