特許
J-GLOBAL ID：200903046757842551
クリーンブース
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-350537
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155205
出願日： 2005年12月05日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】低コストで短時間にクリーンブース内の清浄度を規定の清浄度に到達することのできるクリーンブースを提供すること。【解決手段】上面を覆う天板5と、天板5の中央近傍に配設したファンフィルタユニット2と、該ファンフィルタユニット2から供給される清浄空気をブース内に吹き出す吹出口4とからなるクリーンブース1において、ファンフィルタユニット吹出口2aの直下には、多孔板からなる拡散板3を配設し、前記ブース内吹出口4をメッシュとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
上面を覆う天板と、天板の中央近傍に配設したファンフィルタユニットと、該ファンフィルタユニットから供給される清浄空気をブース内に吹き出す吹出口とからなるクリーンブースにおいて、ファンフィルタユニット吹出口の直下には、多孔板からなる拡散板を配設し、前記ブース内吹出口をメッシュとしたことを特徴とするクリーンブース。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
3L058BF01
, 3L058BF03
, 3L058BF06
, 3L058BG01
