特許
J-GLOBAL ID：200903046809035773

アトムプローブ電界イオン顕微鏡

発明者：
岩 槻 正 志

岩 槻 正 志 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-028254
公開番号（公開出願番号）：特開2001-216933
出願日： 2000年02月04日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】 試料から電界蒸発した原子が常に質量分析系に導かれるアトムプローブ電界イオン顕微鏡を提供すること。【解決手段】 まず高電圧電源18が制御されて、試料11に正の高電圧V1が印加される。そして、試料11に電圧V1が印加された状態で、パルス電源19が制御されて、さらに試料11に正のパルス電圧V2が印加される。このパルス電圧の印加によって試料上の表面原子が電界蒸発する。電界蒸発した原子のうち、正イオン化したものは、引出電極5のイオン通過孔6を通ってイオン検出器14で検出される。同定手段20は、イオン検出器14からの信号とパルス電源19からの信号に基づき、試料11から発生した陽イオンの原子種を同定する。この装置においては、引出電極のイオン検出器との相対位置が変化しないので、試料上のすべての点について高精度な原子分析を行うことができる。
請求項（抜粋）：
真空容器と、その真空容器内に配置されたイオン検出手段と、イオン通過孔を有し、前記イオン検出手段との相対位置が変化しないように前記真空容器内に配置された引出電極と、前記真空容器内に配置され、前記引出電極との相対位置を変えられるように構成された試料ステージと、その試料ステージに保持される試料と、その試料に対向する前記引出電極間に、試料表面上の原子を電界蒸発させるための電界を発生させる電界発生手段と、前記電界蒸発によって試料から発生したイオンを検出する前記イオン検出手段の出力に基づき、そのイオンの原子種を同定する手段を備えたことを特徴とするアトムプローブ電界イオン顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/285 ,  G01N 27/62 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/244
FI (5件)：
H01J 37/285 ,  G01N 27/62 F ,  H01J 37/20 C ,  H01J 37/20 E ,  H01J 37/244
Fターム (5件)：
5C001AA03 ,  5C001BB01 ,  5C001CC08 ,  5C033NN05 ,  5C033NP01
引用特許：
審査官引用 (7件)
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