特許

J-GLOBAL ID：200903046823639703

摺動部品およびその製造方法

発明者： 三宅 正二郎 ,  山元 賢二
出願人/特許権者： 三宅 正二郎 ,  光洋精工株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-239554
公開番号（公開出願番号）：特開平7-090553
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：

【要約】【目的】 基材とDLC膜との密着性を向上させるとともに、摩擦特性を向上させる。基材とDLC膜との熱膨張率の差を混合層で吸収する。【構成】 基材1の表面にDLC膜2が形成されている摺動部品である。基材1とDLC膜2との界面部分に、炭素原子3と注入原子4との混合層5を形成する。

請求項（抜粋）：

基材の表面に硬質カーボン膜が形成されている摺動部品であって、基材と硬質カーボン膜との界面部分に、炭素原子と注入原子との混合層が形成されている摺動部品。

IPC (4件)：

C23C 14/22 ,  C23C 14/48 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/56

引用特許：

審査官引用 (6件)

• ダイヤモンド状被膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-314732   出願人：三洋電機株式会社
• 特開平3-140459
  
• 特開平3-274269
  
• 硬質炭素膜の被覆方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-190987   出願人：住友電気工業株式会社
• a-DLC-Si膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-300649   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 硬質炭素積層膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-254813   出願人：住友電気工業株式会社