金属酸化物薄膜前駆体の製造方法及びその利用

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-090655
公開番号（公開出願番号）：特開2005-272737
出願日： 2004年03月25日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】広範囲の金属原料に適用可能で、かつ、金属酸化物薄膜の物性を良好にし得る金属酸化物薄膜前駆体の製造方法及びその利用を提供する。【解決手段】本発明は、金属塩化物を溶剤に溶解した金属塩化物溶解液から金属酸化物薄膜前駆体を調製する金属酸化物薄膜前駆体の製造方法において、上記金属塩化物溶解液を冷却することにより塩素成分を析出し、この塩素成分を除去することにより、塩素成分を含まない金属酸化物薄膜前駆体を得ることが可能になる。そして、この金属酸化物薄膜前駆体を用いて金属酸化物薄膜を作成することで、物性が良好な金属酸化物薄膜を得ることができ、かつ、塩化物を形成する全ての金属塩化物に適用することができる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

金属塩化物を溶剤に溶解した金属塩化物溶解液から金属酸化物薄膜前駆体を調製する金属酸化物薄膜前駆体の製造方法であって、上記金属塩化物溶解液を冷却する析出工程と、上記析出工程にて得られた、上記金属塩化物溶解液に含まれる物質を除去する除去工程とを含むことを特徴とする金属酸化物薄膜前駆体の製造方法。

IPC (3件)：

C09D1/00 , B05D3/02 , C01B13/32

FI (3件)：

C09D1/00 , B05D3/02 Z , C01B13/32

Fターム (39件)：

4D075BB16X , 4D075BB18Y , 4D075BB22X , 4D075BB28Z , 4D075BB63X , 4D075CA22 , 4D075CB38 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EB01 , 4D075EB56 , 4D075EC01 , 4D075EC07 , 4D075EC30 , 4D075EC54 , 4G042DA01 , 4G042DA02 , 4G042DB22 , 4G042DC01 , 4G042DD02 , 4G042DE04 , 4G042DE14 , 4J038HA101 , 4J038HA111 , 4J038HA121 , 4J038JA16 , 4J038JA20 , 4J038JA37 , 4J038JB01 , 4J038JB03 , 4J038KA06 , 4J038LA03 , 4J038LA06 , 4J038NA20 , 4J038PB09

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-099081
特開平1-208307
二酸化チタン前駆体とその製造方法およびそれを用いた二酸化チタンとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-057259 出願人：科学技術振興事業団

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