特許

J-GLOBAL ID：200903046840600012

加速度センサ

発明者： 紺野 伸顕 ,  平田 善明
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (7件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-224102
公開番号（公開出願番号）：特開2008-139282
出願日： 2007年08月30日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：

【課題】他軸加速度、角速度、角加速度および温度依存性の影響を受けることの少ない高精度の加速度センサを提供する。【解決手段】第1および第2検出フレーム21、22は、第1および第2ねじれ軸を中心に回転可能なように基板1に支持されている。第1リンク梁31は、第1ねじれ軸を第1ねじれ軸と交差しかつ第1検出フレーム21の一方端部側に向かう方向に移動した軸上において第1検出フレーム21に繋がっている。第2リンク梁32は、第2ねじれ軸を上記方向と反対方向にずらした軸上において第2検出フレーム22に繋がっている。慣性質量体2は、第1および第2リンク梁31、32のそれぞれにより第1および第2検出フレーム21、22の各々に連結されることにより、基板1の厚み方向に変位可能に支持されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板に支持された第1ねじれ軸の周りにねじれる第1ねじれ梁と、 前記第1ねじれ軸を中心に回転可能なように、前記第1ねじれ梁を介して前記基板に支持された第1検出フレームと、 前記基板に支持された第2ねじれ軸の周りにねじれる第2ねじれ梁と、 前記第2ねじれ軸を中心に回転可能なように、前記第2ねじれ梁を介して前記基板に支持された第2検出フレームと、 前記第1および第2検出フレームのそれぞれと対向するように前記基板上に形成され、前記基板に対する前記第1および第2検出フレームの角度を静電容量により検出するための複数の検出電極と、 前記第1ねじれ軸を前記第1ねじれ軸と交差しかつ前記第1検出フレームの一方端部側に向かう方向に移動した軸上において前記第1検出フレームに繋がる第1リンク梁と、 前記第2ねじれ軸を前記方向と反対方向にずらした軸上において前記第2検出フレームに繋がる第2リンク梁と、 前記第1および第2リンク梁のそれぞれにより前記第1および第2検出フレームの各々に連結されることにより、前記基板上で前記基板の厚み方向に変位可能に支持された慣性質量体とを備えた、加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/18 ,  G01P 15/125

FI (2件)：

G01P15/00 K ,  G01P15/125 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 半導体チツプ運動変換器及びその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-040785   出願人：ザ・チヤールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテツド
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-136998   出願人：三菱電機株式会社
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-317191   出願人：株式会社ゼクセル

審査官引用 (2件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-136998   出願人：三菱電機株式会社
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-317191   出願人：株式会社ゼクセル