特許
J-GLOBAL ID：200903046879783084
ボロメータ型THz波検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
宮本 恵司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-081828
公開番号（公開出願番号）：特開2008-241439
出願日： 2007年03月27日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】高性能かつ高歩留まりで製造可能なボロメータ型THz波検出器の提供。【解決手段】ボロメータ薄膜7を含む温度検出部14(ダイアフラム)が支持部13によって回路基板2から浮いた状態で支持されるマイクロブリッジ構造のボロメータ型THz波検出器1において、温度検出部14の上部にTHz波を効率良く集めるための誘電体材料からなる部材(誘電体カバー11)を追加し、誘電体カバー11の屈折率をn、厚みをt、THz波の波長をλとした場合に、nt>λとなるように設定し、かつ、誘電体カバー11と温度検出部14との間隔をλ/2の整数倍に設定する。これらにより、ボロメータ型赤外線検出器の構造や製造方法を利用してTHz波の吸収率を向上させることが可能となり、高性能のボロメータ型THz波検出器を高い歩留まりで製造することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が、前記基板から浮いた状態で支持されるマイクロブリッジ構造を有するボロメータ型THz波検出器であって、
前記温度検出部の上部に誘電体部材が配置され、
前記誘電体部材の屈折率と厚みとの積がTHz波の波長よりも大きく、かつ、前記誘電体部材と前記温度検出部との間隔が前記THz波の半波長の整数倍に設定されることを特徴とするボロメータ型THz波検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2G059HH06
, 2G059JJ30
, 2G065AA04
, 2G065AB03
, 2G065BA12
出願人引用 (3件)
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米国特許第6329655号
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ボロメータ型THz波検出器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2007-081827
出願人：日本電気株式会社, 国立大学法人東京大学, 独立行政法人情報通信研究機構
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特開昭61-249198
引用文献：
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