特許
J-GLOBAL ID：200903046885449064

真空機器の表面処理アルミニウム構成部品及びその製造方法

発明者：
山口 恵太郎

山口 恵太郎 について


出願人/特許権者：
三菱アルミニウム株式会社

三菱アルミニウム株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172546
公開番号（公開出願番号）：特開平11-012763
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】 外面のプラズマ等に対する耐食性を向上させるとともに真空環境下でのガス放出量を少なくし、しかも内部に設けられた冷却用の水路の壁面の耐食性を向上させた真空機器の表面処理アルミニウム構成部品の提供。【解決手段】 真空機器に備えられるアルミニウムまたはアルミニウム合金素材からなる構成部品20,22,23であって、上記構成部品20,22,23にはそれぞれ内部に冷却用の水路が設けられ、少なくとも外面に厚さが0.3〜0.9μmで、かつ含水率が10重量%以下の無孔質陽極酸化皮膜が形成され、上記水路の壁面に厚さが0.2〜3.0μmのベーマイト皮膜が形成されている真空機器の表面処理アルミニウム構成部品。
請求項（抜粋）：
真空機器に備えられるアルミニウムまたはアルミニウム合金素材からなる構成部品であって、前記構成部品は内部に冷却用の水路が設けられ、少なくとも外面に厚さが0.3〜0.9μmで、かつ含水率が10重量%以下の無孔質陽極酸化皮膜が形成され、前記水路の壁面に厚さが0.2〜3.0μmのベーマイト皮膜が形成されていることを特徴とする真空機器の表面処理アルミニウム構成部品。
IPC (3件)：
C23C 28/04 ,  C25D 11/04 ,  C25D 11/04 302
FI (3件)：
C23C 28/04 ,  C25D 11/04 H ,  C25D 11/04 302
引用特許：
出願人引用 (3件)

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