特許

J-GLOBAL ID：200903046912624086

ドレッシング装置並びにこれを用いた研磨装置及びCMP装置

発明者： 渋木 俊一 ,  南川 康夫
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-253467
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084831
出願日： 1998年09月08日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、安定したドレッシング効率でドレッシング作業を行い得るドレッシング装置を提供することにある。【構成】 平板状の被処理部材(68)に接触する複数の砥粒(84)と;砥粒(84)を保持する保持部材(86)とを備える。そして、被処理部材(68)に対向する砥粒(84)の各々の接触面が、当該被処理部材(68)とほぼ平行になるように配置する。

請求項（抜粋）：

平板状の被処理部材に接触する複数の砥粒と;前記砥粒を保持する保持部材とを備えるとともに、前記被処理部材に対向する前記砥粒の各々の接触面が、当該被処理部材とほぼ平行になるように配置されていることを特徴とするドレッシング装置。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 622 M

Fターム (8件)：

3C058AA04 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058BC02 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10

引用特許：

審査官引用 (5件)

• ドレッサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-056668   出願人：旭ダイヤモンド工業株式会社
• 特開昭54-086893
  
• 研磨布の目立て装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-215460   出願人：新日本製鐵株式会社
• ポリシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-316167   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭54-086893