特許
J-GLOBAL ID：200903046913824747
投影露光装置
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-301089
公開番号（公開出願番号）：特開平10-133105
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 製造誤差や組立誤差などに起因して投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれや偏心非点収差などを随時補正する。【解決手段】 投影光学系(PL)は、第1物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群と、負屈折力の第4レンズ群と、正屈折力の第5レンズ群と、正屈折力の第6レンズ群とを備えている。投影光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群中において光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも1つのレンズから構成された光学部材(T1〜T3)を備え、光学部材を光軸に対して傾斜させることによって、投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれまたは偏心非点収差を補正する。
請求項（抜粋）：
第1物体を照明するための照明光学系と、該照明光学系によって照明された前記第1物体の像を第2物体上に投影するための投影光学系とを備えた投影露光装置において、前記投影光学系は、前記第1物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群と、正の屈折力を有する第6レンズ群とを備え、前記投影光学系は、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群中において光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも1つのレンズから構成された光学部材を備え、前記光学部材を光軸に対して傾斜させることによって、前記投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれまたは偏心非点収差を補正することを特徴とする投影露光装置。
IPC (3件)：
FI (4件)：
引用特許：
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