X線CT装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-333757
公開番号（公開出願番号）：特開2005-098875
出願日： 2003年09月25日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】半田ボールと配線パターンとの接合状況や、X線吸収率が相違する複数の物質が混在するような物品中のクラック等を明確に画像化することのできるX線CT装置を提供する。【解決手段】試料Wを回転させつつ取り込んだX線透過データから、例えば画素間の濃度の差分値等、試料の各部位のX線吸収率の空間的変動に係るデータを算出し、その空間的変動データを用いて断層像を再構成演算することにより、試料内部でX線吸収率の空間的変化が大きな部位が強調された断層像を得て、半田ボールと基板上の配線パターン間の微小なクラック等を明確に画像化することを可能とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X線源とX線検出器の間に試料を配置し、X線源とX線検出器の対と試料とに相対的な回転を与えつつ試料にX線を照射し、所定の回転角度ごとに取り込んだX線透過データを用いて、上記回転の中心軸に直交する平面に沿った断層像を再構成する断層像再構成演算手段を備えたX線CT装置において、上記X線透過データを用いて、試料の各部位のX線吸収率の空間的変動に係るデータを算出し、そのX線吸収率の空間的変動データを用いて、上記断層像再構成演算手段による断層像の再構成演算と同じ演算を実行する強調断層像再構成演算手段を備えていることを特徴とするX線CT装置。

IPC (1件)：

G01N23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (13件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001HA08 , 2G001HA13 , 2G001HA14 , 2G001JA08 , 2G001KA03 , 2G001LA02 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 2G001PA12

引用特許：

出願人引用 (9件)

コンピュータ断層撮影装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-166463 出願人：株式会社島津製作所
傾斜三次元X線CT
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-061071 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
特開昭61-155844

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審査官引用 (14件)

特開昭62-075875
傾斜三次元X線CT
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-061071 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
画像処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-012732 出願人：コニカ株式会社

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