特許
J-GLOBAL ID：200903046968955085
銅および銅合金のマイクロエッチング剤
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196636
公開番号（公開出願番号）：特開平9-041162
出願日： 1995年08月01日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：
【要約】【課題】 銅表面および銅合金表面を、ソルダーレジスト等との密着性に優れた深い凹凸を有する表面形状に粗面化することができ、さらにはんだ付け性に適した表面状態にすることができるマイクロエッチング剤を提供する。【解決手段】 銅の酸化剤を含有する水溶液からなる銅および銅合金のマイクロエッチング剤に、ポリアミン鎖および(または)カチオン性基を有する高分子化合物を含有させた。
請求項（抜粋）：
銅の酸化剤を含有する水溶液からなる銅および銅合金のマイクロエッチング剤であって、ポリアミン鎖および(または)カチオン性基を有する高分子化合物を0.000001〜1.0重量%含有させたことを特徴とする銅および銅合金のマイクロエッチング剤。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23F 1/18
, H01L 21/308 F
