感光性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-031526
公開番号（公開出願番号）：特開2003-233175
出願日： 2002年02月07日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】可視光感光性で、エッチング液耐性とメッキ液耐性の確保の問題や生産性低下などの問題を解決するプロセスを可能にし、微細かつ高密度なパターンを形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(I)水溶性樹脂、(II)感光性モノマー、(III)可視光重合開始剤、(IV)平均粒径0.1μm以下の酸化チタン微粒子及び/又は炭酸カルシウム微粒子、を含有することを特徴とする。例えば可視光感光性樹脂組成物13と紫外線感光性樹脂組成物12とを積層して用いて、可視光VISでパターン露光、現像し、得られた可視光感光性樹脂組成物13aのパターンをマスクとして全面に紫外線UVで露光し、現像することで、所望の樹脂組成物のパターン(12a)を得る。

請求項（抜粋）：

(I)水溶性樹脂、(II)感光性モノマー、(III)可視光重合開始剤、(IV)平均粒径0.1μm以下の酸化チタン微粒子及び/又は炭酸カルシウム微粒子、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/004 501 , C08F 2/44 , C08F291/00 , G03F 7/027 502 , G03F 7/029 , G03F 7/031 , G03F 7/032 , G03F 7/038

FI (9件)：

G03F 7/004 501 , C08F 2/44 A , C08F 2/44 C , C08F291/00 , G03F 7/027 502 , G03F 7/029 , G03F 7/031 , G03F 7/032 , G03F 7/038

Fターム (54件)：

2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025BD23 , 2H025CA01 , 2H025CA06 , 2H025CA09 , 2H025CA20 , 2H025CA28 , 2H025CA34 , 2H025CA39 , 2H025CB07 , 2H025CB20 , 2H025CB24 , 2H025CB28 , 2H025CB53 , 2H025CC08 , 2H025CC20 , 2H025EA08 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J011PA07 , 4J011PA67 , 4J011PA74 , 4J011PA85 , 4J011PA88 , 4J011PA90 , 4J011PA96 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J026AA02 , 4J026AA03 , 4J026AA07 , 4J026AA30 , 4J026AA31 , 4J026AA34 , 4J026AA61 , 4J026AB01 , 4J026AB05 , 4J026AB07 , 4J026AB20 , 4J026AB28 , 4J026BA27 , 4J026BA28 , 4J026BA30 , 4J026DB24 , 4J026DB36 , 4J026FA05 , 4J026GA07

引用特許：

出願人引用 (3件)

水溶性樹脂及びこれを含有する感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-277837 出願人：味の素株式会社
感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-126201 出願人：株式会社関西新技術研究所
ネガ型感光材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-261890 出願人：富士写真フイルム株式会社

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