特許
J-GLOBAL ID：200903047059413793
蒸気洗浄乾燥装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198081
公開番号（公開出願番号）：特開平10-004080
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 被洗浄物に常に一定な熱量を加えられるようにするとともに、その温度と圧力を一定に維持できるようにすることで、被洗浄物表面の洗浄及び乾燥が効率よく行われるようにした蒸気洗浄乾燥装置を提供する。【解決手段】 石英かステンレス鋼いずれかにより形成された中空管状体の加熱源に沸騰点以上に加熱し所定の圧力を加えた水蒸気を導入し、この加熱源により洗浄槽内に貯留した洗浄液20を加熱し蒸気化させ、被洗浄物の洗浄および乾燥を行うとともに洗浄槽内中央に受け皿15を配設し、この受け皿外周上部に周壁を設け、被洗浄物を収容し上部より蒸気化した洗浄液20を投入し洗浄させ、受け皿底面には被洗浄物から滴下する洗浄液を蒸気槽1外に排水する配管を設け、この配管の排水口から外気が逆流しないよう逆止弁を設ける。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を収容する蒸気槽と、前記蒸気槽の底面に貯留した洗浄液を蒸気化させる加熱源とを備え、蒸気化した前記洗浄液により前記被洗浄物を洗浄及び乾燥させる蒸気洗浄乾燥装置に於いて、前記加熱源として、前記洗浄液内に配置され、加熱された水蒸気の導入を可能とする中空管状体を用いることを特徴とする蒸気洗浄乾燥装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 351
, F26B 3/06
H01L 21/304 351 V
, F26B 3/06
