特許
J-GLOBAL ID：200903047150526754

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタおよび圧電体素子の製造方法

発明者：
村井 正己

村井 正己 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-041720
公開番号（公開出願番号）：特開2000-244031
出願日： 1999年02月19日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】【課題】 安価に信頼性の高い水熱合成法による圧電体素子を提供する。【解決手段】 本発明は、電界を加えることにより変形可能に構成されている圧電体素子に適用される。圧電体素子(40)を形成する設置面に、少なくともパラジウムを含む保護層(31)が形成されている基板(30)を使用する。パラジウムを含んだ金属は、水熱合成で使用するアルカリ溶液に対して耐性がある一方、基板本体との密着性もよく、剥離することがない。
請求項（抜粋）：
電界を加えることにより変形可能に構成されている圧電体素子において、圧電体素子を形成する設置面に、少なくともパラジウムを含む保護層が形成されていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (6件)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z
Fターム (14件)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG47 ,  2C057AG90 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP38 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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