特許
J-GLOBAL ID：200903047183362811
ウエハ用メッキ装置およびそれを用いたバンプ電極の形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
花輪 義男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-396884
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198389
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：
【要約】【課題】 ウエハにメッキからなるバンプ電極を形成する際に、メッキ用カップ内のメッキ液中の気泡を速やかに排出し、且つ、メッキ用カップの周壁部に向かうメッキ液の流れのばらつきを軽減する。【解決手段】 カップ2の周壁部上面には複数の側面ほぼV字形状の溝21が等間隔に設けられている。そして、これらの溝21の存在により、カップ2内のメッキ液4中の気泡を速やかに排出することができ、またカップ2の周壁部に向かうメッキ液4の流れのばらつきを軽減することができる。
請求項（抜粋）：
メッキ液が噴流されるカップの周壁部上方に設けられたリング状のウエハ載置部上にウエハの周囲を載置するようにしたウエハ用メッキ装置において、前記カップの周壁部上面に複数の溝が離間して設けられていることを特徴とするウエハ用メッキ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C25D 17/00 D
, H01L 21/92 604 B
